अर्धचालक निरीक्षण अनुप्रयोगों के लिए हाई स्पीड वीसीएआर वॉयस कॉइल मोटर्स
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x| समग्र आयाम | 200 * 400 * 404 मिमी | विशेषता | उच्च त्वरण |
|---|---|---|---|
| रंग | सिल्वर ग्रे | पैकेट | कार्टन पैकेजिंग |
| प्रकार | माइक्रो मोटर | सतत चालू (ए) | मौजूदा |
| रफ़्तार | उच्च गति | उत्पाद मॉडल | VCAR0105-0164-00A |
| वोल्टेज | 20 वी | निरंतर बल | 35.4 मिमी |
| प्रमुखता देना | हाई स्पीड वीसीएम वॉयस कॉइल मोटर,अर्धचालक निरीक्षण के लिए वीसीएआर मोटर,वारंटी के साथ सटीक आवाज कॉइल मोटर |
||
उत्पाद का वर्णन:
VCAR0105-0164-00A एक उच्च परिशुद्धता आवाज कॉइल मोटर अर्धचालक निरीक्षण उपकरण के लिए अनुकूलित है।और नैनोमीटर स्तर की स्थिति, यह आधुनिक अर्धचालक निरीक्षण प्लेटफार्मों में गति, सटीकता और स्थिरता के लिए सख्त आवश्यकताओं को पूरा करता है।और नैनोमीटर पैमाने पर सतह की सपाटता और मोटाई का माप. कम जड़ता वाले मोवर और VCAR0105-0164-00A के टगिंग मुक्त डिजाइन से मिलीसेकंड के स्तर पर घुमावदार गति की अनुमति मिलती है जबकि बिना कंपन या स्थिति त्रुटि के सुचारू संचालन सुनिश्चित होता है,निरीक्षण की दक्षता में काफी सुधार.
वीसीएआर श्रृंखला के मोटर्स का व्यापक रूप से लिथोग्राफी मशीनों, स्कैनिंग निरीक्षण प्रणालियों, माइक्रो-पोजिशनिंग चरणों और प्रयोगशाला स्वचालन में भी उपयोग किया जाता है।कॉम्पैक्ट डिजाइन सीमित स्थानों में एकीकरण की अनुमति देता है, जबकि हल्के मोवर्स और उच्च आवृत्ति प्रतिक्रिया उच्च गति स्कैनिंग भार के तहत भी कम जड़ता और उच्च सटीकता सुनिश्चित करती है। चिकनी गति कंपन प्रभाव को कम करती है,स्कैन स्थिरता और विश्वसनीयता में वृद्धि.
विशेषताएं:
उच्च गति और उच्च त्वरण, त्वरित स्कैनिंग के लिए आदर्श
सटीक माप के लिए नैनोमीटर स्तर की स्थिति
झुकने से मुक्त, चिकनी गति
एकीकरण के लिए कॉम्पैक्ट, सूक्ष्म आकार का डिजाइन
बंद लूप वास्तविक समय नियंत्रण के लिए उच्च आवृत्ति प्रतिक्रिया
हल्के वजन वाली मोटर गतिशीलता को कम करती है और गतिशीलता में सुधार करती है
दीर्घकालिक उच्च आवृत्ति संचालन के लिए टिकाऊ
तकनीकी मापदंडः
| उत्पाद मॉडल | चोटी बल (एन) |
निरंतर बल 25°C ((N) पर |
कुल स्ट्रोक (मिमी) |
अधिकतम वोल्टेज (V) |
बैक ईएमएफ स्थिर (V/m/s) |
कॉइल का वजन घ) |
स्टेटर व्यास (मिमी) | लम्बाई (मिमी) |
| VCAR0001-0064-00A | 0.88 | 0.28 | 6.4 | 6.9 | 0.29 | 3 | 9.5 | 17.7 |
| VCAR0001-0010-00A | 0.73 | 0.42 | 1 | 4.8 | 0.6 | 2.7 | 24 | 11.2 |
| VCAR00025-0127-00A | 2.55 | 0.81 | 12.7 | 11.6 | 0.77 | .6.6 | 12.7 | 24 |
| VCAR0006-0039-00A | 6.2 | 1.9 | 3.9 | 6.6 | 1.12 | 7.9 | 20 | 17.2 |
| VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 15.7 | 3.57 | 8.2 | 25 | 18.2 |
| VCAR0007-0040-00A | 7.2 | 2.4 | 4 | 7.5 | 1.88 | 7 | 14.2 | 23 |
| VCAR0007-0064-00A | 7.8 | 2.5 | 6.4 | 9.9 | 1.5 | 7.2 | 19.1 | 23.8 |
| VCAR0007-0127-00A | 7.1 | 2.3 | 12.7 | 12.8 | 1.6 | 11.4 | 19.1 | 27 |
| VCAR0011-0050-00A | 11.4 | 2.1 | 5 | 11.8 | 3 | 11.2 | 24 | 17.2 |
| VCAR0011-0100-00A | 10.5 | 2.9 | 10 | 43.8 | 3.5 | 20 | 31 | 26.8 |
| VCAR0013-0030-00A | 13 | 3.5 | 3 | 16 | 3.5 | 12 | 25 | 21 |
| VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | 24.7 |
| VCAR0014-0250-00A | 14 | 4.5 | 25 | 26.5 | 3.9 | 35 | 25.4 | 44.2 |
| VCAR0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | 25.6 |
| VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | 35 |
| VCAR0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | 75.7 |
| VCAR0025-0630-00A | 25.3 | 8 | 63 | 50.6 | 5 | 68 | 31.8 | 83.1 |
| VCAR0030-0150-00A | 29.4 | 4.73 | 15 | 40.5 | 7.4 | 27 | 30 | 31 |
| VCAR0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | 41.7 |
| VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | 26.7 |
| VCAR0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | 72 |
| VCAR0035-0090-00A | 35 | 11 | 9 | 26.4 | 9 | 33 | 25.4 | 44.3 |
| VCAR0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | 67 |
| VCAR0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | 21.2 |
| VCAR0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | 22 |
| VCAR0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | 35.9 |
| VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | 51.3 |
| VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | 53.7 |
| VCAR0075-0200-00A | 75 | 30 | 20 | 26.2 | 15.2 | 65 | 70 | 38.7 |
| VCAR0080-0129-00A | 80 | 35 | 12.9 | 27.7 | 18 | 149 | 49 | 53.8 |
| VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | 34.9 |
| VCAR0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | 110 |
| VCAR0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | 40.4 |
| VCAR0110-0380-00A | 110 | 37.4 | 38 | 23.2 | 9 | 150 | 60.4 | 60.4 |
| VCAR0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | 27.5 |
| VCAR0115-0065-00A | 115 | 30.1 | 6.5 | 35 | 17.3 | 52 | 40 | 58 |
| VCAR0130-0310-00A | 130 | 40 | 31 | 30.4 | 20.5 | 280 | 75.6 | 56.5 |
| VCAR0140-0150-00A | 140 | 42.2 | 15 | 33.4 | 26.6 | 80 | 53 | 53.7 |
| VCAR0210-0254-00A | 210 | 66.2 | 25.4 | 56.6 | 28 | 230 | 43.7 | 111.8 |
| VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | 64 |
| VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | 109.1 |
| VCAR0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | 136.9 |
| VCAR0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | 91 |
| VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | 110 |
| VCAR0436-0373-00A | 436 | 142.6 | 37.3 | 38 | 29.8 | 1050 | 76 | 163 |
| VCAR0980-0249-00A | 980 | 605 | 24.9 | 41.5 | 104 | 1426 | 126 | 134.5 |
| VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376.8 | 31 | 73.5 | 68 | 1071 | 110 | 143.7 |
अनुप्रयोग:
अर्धचालक वेफर की सतह निरीक्षण
लिथोग्राफी मशीन की स्थिति
उच्च गति स्कैनिंग प्रणाली
माइक्रो-पोजिशनिंग चरण और प्रयोगशाला स्वचालन
स्वचालित अर्धचालक उत्पादन लाइनें
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